應(yīng)用介紹

【行業(yè)】半導(dǎo)體

【設(shè)備】AMHS

應(yīng)用場景

場景1.EFEM中的cassette落座

場景2.OHB中的cassette落座

場景3.stocker中的foup落座

解決課題

1、不同種類的FOUP盒會因材質(zhì)、顏色、重復(fù)使用導(dǎo)致的老化等各種因素影響檢測，難以實(shí)現(xiàn)統(tǒng)一的穩(wěn)定性評估標(biāo)準(zhǔn)。

2、open cassette質(zhì)量較輕，難以正確下壓驅(qū)動銷，導(dǎo)致漏檢的情況產(chǎn)生。

3、因生產(chǎn)要求，需要在機(jī)械手上直接安裝傳感器。但機(jī)械手上的空間有限，傳感器難以安裝。

價(jià)值提案

核心產(chǎn)品：按鈕型光電傳感器 EE-SA701/801

■與半導(dǎo)體FOUP盒規(guī)格相契合，不受材質(zhì)、顏色、反射率、重量等各種影響，準(zhǔn)確檢測FOUP盒的落座情況。

■以光學(xué)方式檢測驅(qū)動器的動作，對下壓力的要求較低，即使是質(zhì)量較輕的open cassette也可以進(jìn)行穩(wěn)定檢測。同時(shí)， EE-SA701/801的機(jī)械壽命達(dá)500萬次以上，實(shí)現(xiàn)超長使用。

■EE-SA701/801采用薄型設(shè)計(jì)，備有柔韌性佳的耐曲折導(dǎo)線型，可實(shí)現(xiàn)搬運(yùn)臂上的嵌入式安裝搭載。

相關(guān)產(chǎn)品

按鈕型光電傳感器EE-SA701 / 801

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