應(yīng)用背景

半導(dǎo)體晶圓制造流程復(fù)雜，整套生產(chǎn)流程包含幾十道加工工序。FOUP 晶圓載盒需要在電子貨架、工藝設(shè)備之間反復(fù)流轉(zhuǎn)，物料貨位管理、批次追蹤直接影響晶圓生產(chǎn)良率。傳統(tǒng)依靠人工記錄、人工查找 FOUP 的作業(yè)模式，已經(jīng)難以匹配半導(dǎo)體工廠潔凈車間數(shù)字化管理的嚴(yán)苛要求。

在傳統(tǒng)作業(yè)模式下，F(xiàn)OUP 存取搬運依靠人工完成，批次、工序、貨位信息依靠人工登記，極易發(fā)生信息混淆錯記；人工尋找目標(biāo) FOUP 耗時久，搬運作業(yè)整體效率偏低；同時人工接觸操作，還存在晶圓被污染的風(fēng)險，不利于產(chǎn)品品質(zhì)管控。

應(yīng)用方案

在半導(dǎo)體電子貨架每個貨位部署 RFID讀寫器，當(dāng)作業(yè)人員將FOUP放置到貨架貨位上，設(shè)備自動讀取FOUP載盒上RFID標(biāo)簽內(nèi)全部信息，F(xiàn)OUP載盒編號等關(guān)鍵數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)實時上傳至上層管理平臺統(tǒng)一處理。

系統(tǒng)支持聯(lián)動貨位指示燈，需要取出指定FOUP時，對應(yīng)貨位指示燈點亮，引導(dǎo)作業(yè)人員快速精準(zhǔn)定位目標(biāo)載盒，縮短找料時間。

同時系統(tǒng)持續(xù)采集留存晶圓批次全量歷史數(shù)據(jù)，記錄蝕刻周期、清洗次數(shù)、位置移動記錄，實現(xiàn)晶圓全生命周期追溯，完整記錄半導(dǎo)體產(chǎn)品移動與加工全過程，方便開展質(zhì)量追蹤與工藝管控。

應(yīng)用收益

準(zhǔn)確性提升：RFID自動采集數(shù)據(jù)，消除人工登記帶來的失誤，提升晶圓物料貨位管理準(zhǔn)確性。

效率優(yōu)化：實現(xiàn)自動化的貨位識別與指引，簡化盤點、存取作業(yè)流程，縮短操作耗時，提升車間搬運周轉(zhuǎn)效率。

安全性增強：采用非接觸識別方式，減少人員與晶圓載具的直接接觸，降低晶圓污染風(fēng)險，保障晶圓生產(chǎn)質(zhì)量。

數(shù)字化升級：依托RFID落地晶圓精細(xì)化智能管理，打通倉儲貨架與上層系統(tǒng)的數(shù)據(jù)鏈路，提升產(chǎn)線協(xié)同效率，降低運營成本，助力半導(dǎo)體制造數(shù)字化高質(zhì)量發(fā)展。

應(yīng)用設(shè)備

CK-S610 是一款基于射頻識別技術(shù)的低頻 RFID 標(biāo)簽讀卡器，讀卡器工作頻率134.2kHz。該讀卡器支持標(biāo)準(zhǔn) Modbus RTU 協(xié)議,方便用戶應(yīng)用到 PLC 等系統(tǒng)中。讀卡器內(nèi)部集成了射頻部分通信協(xié)議，用戶只需通過 RS485/RS232 通信接口發(fā)送接收數(shù)據(jù)便可完成標(biāo)簽的讀取操作，無需理解復(fù)雜的射頻通信協(xié)議。讀卡器自帶 Auto-turning 自動調(diào)諧電路，在不同環(huán)境中工作時能自動調(diào)節(jié)電路參數(shù)，使外部環(huán)境對讀卡距離的影響降到最小，進一步增強了自身的抗干擾能力, 具有接收靈敏度高、性能穩(wěn)定、可靠性強等特點。 讀卡器可廣泛應(yīng)用于物流，倉儲管理，過程控制，機械臂站點控制等領(lǐng)域。