應用介紹

【行業】半導體

【設備】AMHS

應用場景

上料時的wafer有無判斷，映射出wafer位置后方便后續機械手的抓取。

解決課題

1、由于設備內部安裝空間緊湊且機械手的承載能力有限，檢測模塊需要直接內嵌安裝于Loadport的開門執行機構或晶圓搬運機械手的本體結構中。

2、需要平等檢測不同材質的晶圓，避免因材料特性差異導致的誤檢或漏檢。

價值提案

核心產品：光纖單元 E32、光纖放大器 E3NX-FA

■E32采用耐折彎結構制造，至少100W次的彎曲壽命，非常適合mapping往復運動的檢測方式，防止長時間運行時的機械壽命發生斷線。

■E32備有3mm和4mm厚等各種安裝方式，易于設置在loadport開盒機構或者晶圓機械手臂上的薄型形狀，光軸的調整也非常簡單（光纖頭光軸與定位基準面的偏差僅為±0.1°Typ）。

■使用放大器S-TUNE智能調諧，快速設定光量和閾值，盡量減小對射光纖安裝時的對齊誤差，并且在具有透明度上的wafer也可以做到快速設定。

相關產品

光纖單元 E32

光纖放大器 E3NX-FA

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